Browsing by Subject "Magnetrón sputtering"
Now showing items 1-1 of 1
-
(Universidad de Chile, 2020)En esta tesis doctoral, se estudió el efecto del dopaje de ZrO2 sobre la microestructura, propiedades mecánicas, propiedades ópticas y resistencia a la erosión en recubrimientos antirreflectantes (ARC) multicapa base ...