Browsing by Subject "Magnetrón sputtering"
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Fabricación de películas delgadas de CCTO mediante sputtering para aplicaciones como sensor de gas (Universidad de Chile, 2020)El titanato de cobre y calcio, CaCu3Ti4O12 (CCTO), es una cerámica tipo perovskita que se puede enmarcar dentro de la familia de los semiconductores de óxidos metálicos (MOS). Es un material que genera gran interés tecnológico ...